重磅！全国首台国产商业电子束光刻机突破性问世，精度比肩国际，产业链或将全面腾飞！

近日，全国首台国产商业电子束光刻机'羲之'在浙大余杭量子研究院完成研发并进入应用测试阶段。该设备精度达到0.6nm，线宽8nm，专攻量子芯片和新型半导体研发的核心环节，可通过高能电子束在硅基上'手写电路'，无需掩膜版即可灵活修改设计，其精度已比肩国际主流设备。这标志着我国量子芯片研发从此有了'中国刻刀'。